判斷掃描電鏡（SEM）圖像是否出現(xiàn)失真或充電效應(yīng)，主要可以通過(guò)觀察圖像特征、了解樣品性質(zhì)和結(jié)合成像參數(shù)來(lái)判斷。以下是常見(jiàn)判斷方式：

一、如何判斷圖像失真

失真（Distortion） 是圖像幾何形狀偏離實(shí)際形貌，常見(jiàn)于以下幾種情況：

掃描方向變形：

快速掃描方向出現(xiàn)拉長(zhǎng)、壓縮、傾斜等現(xiàn)象，說(shuō)明掃描速率與反饋?lái)憫?yīng)不同步。

橫向拉伸多為慢掃描軸伺服遲緩造成。

圖像邊緣模糊或抖動(dòng)：

電磁干擾、掃描不穩(wěn)定、樣品運(yùn)動(dòng)造成；

電源干擾也會(huì)引入周期性條紋。

圖像整體偏移或重復(fù)（鬼影）：

掃描系統(tǒng)滯后或線圈遲滯；

或者控制器中斷、同步觸發(fā)失效導(dǎo)致圖像有“雙影”。

二、如何判斷圖像充電效應(yīng)

充電效應(yīng)（Charging） 通常發(fā)生在非導(dǎo)電樣品或樣品涂層不良時(shí)：

圖像亮度不均勻或忽明忽暗：

表明電子聚集在局部區(qū)域，導(dǎo)致信號(hào)電壓漂移。

局部區(qū)域異常發(fā)白或黑暗：

正常區(qū)域電荷排出平衡，而局部充電區(qū)域形成高反差。

圖像“漂移”或“扭曲”隨時(shí)間發(fā)生變化：

通常伴隨著掃描過(guò)程中圖像位置緩慢變化；

這是典型的表面電荷積累影響電子束偏轉(zhuǎn)。

亮區(qū)邊緣出現(xiàn)“暈影”或強(qiáng)反射：

說(shuō)明電子束轟擊后產(chǎn)生了次級(jí)電子和背散射電子畸變。

三、如何進(jìn)一步驗(yàn)證（診斷方法）

改變加速電壓：如果降低加速電壓后圖像變正常，很可能是充電問(wèn)題。

導(dǎo)電噴金處理：樣品如果經(jīng)過(guò)金屬鍍層后圖像變穩(wěn)定，則說(shuō)明是導(dǎo)電不足導(dǎo)致的充電。

換方向掃描：如果圖像失真形狀隨掃描方向變化，說(shuō)明是動(dòng)態(tài)滯后或畸變。

連續(xù)拍攝多張觀察變化：若圖像漂移隨時(shí)間逐漸加重，很可能是表面充電積累。