在掃描電鏡（SEM）成像中，偽影是指非真實(shí)反映樣品結(jié)構(gòu)的圖像特征，常由設(shè)備、樣品或操作問題引起。判斷是否出現(xiàn)偽影，可以從以下幾個(gè)方面入手：

1. 圖像中出現(xiàn)重復(fù)或周期性結(jié)構(gòu)

特征：規(guī)則條紋、網(wǎng)格狀圖案、重復(fù)的圖像元素；

常見原因：電磁干擾、掃描線同步問題、樣品上有污染物；

判斷方法：觀察圖像是否存在非自然、周期性的花紋，尤其在不同放大倍率下仍固定存在。

2. 圖像邊緣或整個(gè)畫面模糊不均

特征：某些區(qū)域清晰，另一些區(qū)域始終模糊；

常見原因：樣品傾斜、未對焦、充電效應(yīng)；

判斷方法：調(diào)整對焦無改善，或模糊區(qū)域隨掃描區(qū)域改變而變化。

3. 出現(xiàn)異常亮點(diǎn)或暗點(diǎn)

特征：不規(guī)則的閃亮點(diǎn)、黑點(diǎn)；

常見原因：探測器噪聲、樣品污染、電子束晃動(dòng)；

判斷方法：相同區(qū)域多次掃描是否重復(fù)出現(xiàn)，是否與樣品實(shí)際形貌對應(yīng)。

4. 圖像漂移或重影

特征：圖像整體抖動(dòng)、重影、拖影；

常見原因：樣品未固定牢、漂移、掃描速度過慢、真空不穩(wěn)；

判斷方法：是否隨時(shí)間改變而移動(dòng)；提高掃描速度后是否改善。

5. 輻照損傷或束斑效應(yīng)偽影

特征：圖像中央?yún)^(qū)域明顯變亮或發(fā)黑，或有非自然邊緣；

常見原因：電子束照射時(shí)間過長、樣品敏感；

判斷方法：是否隨著曝光時(shí)間的延長而加重，是否出現(xiàn)在易損材料中。