當掃描電鏡（SEM）樣品太大、無法放入樣品艙時，可以通過以下幾種方式解決或繞開限制：

解決思路與方法：

1. 切割或縮小樣品尺寸

優(yōu)點：直接解決體積過大問題，適用范圍廣。

做法：使用切割機、研磨設備將樣品切成適合尺寸的片狀或塊狀。

注意：切割面需打磨平整，并確保目標觀察區(qū)域未被破壞。

2. 選擇適配的樣品臺或夾具

使用特殊定制樣品托盤或低矮型樣品夾，降低樣品整體高度；

一些 SEM 支持替換小型樣品艙蓋，提供更高的容納空間。

3. 傾斜安裝樣品

將樣品傾斜放置，避免因高度限制無法關(guān)腔門；

但可能會影響觀察角度或需重新校正工作距離。

4. 選擇大艙體或臺式兼容設備

更換為具備大樣品艙或**高工作距離（WD）的掃描電鏡型號；

某些臺式或桌面 SEM 專為大型樣品（如 PCB 板、整塊器件）設計。

5. 只觀察局部區(qū)域

如果樣品不能整體放入，可：

切割下目標區(qū)域；

或借助復制技術(shù)（如用硅膠模具轉(zhuǎn)印結(jié)構(gòu)，再觀察復制品）。

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