掃描電鏡（SEM）圖像出現(xiàn)抖動(dòng)（flickering / jittering），是一種常見但令人困擾的問題，圖像可能表現(xiàn)為輕微跳動(dòng)、震蕩或邊緣模糊，影響成像質(zhì)量和精度。抖動(dòng)通常不是隨機(jī)的，而是由特定因素引起的。下面是常見原因及對(duì)應(yīng)解決方法：

圖像抖動(dòng)的常見原因及解決方案

1. 環(huán)境干擾

表現(xiàn)：圖像周期性或不規(guī)則抖動(dòng)，尤以放大倍率高時(shí)明顯。

原因：

地面震動(dòng)（如靠近地鐵、電梯、重型設(shè)備）；

空調(diào)、電機(jī)、電焊等引起的電磁干擾；

室內(nèi)氣流波動(dòng)（門窗頻繁開合、風(fēng)機(jī)對(duì)著設(shè)備）。

解決方法：

將SEM安置在防震平臺(tái)或低震區(qū)；

保持室內(nèi)恒溫恒濕，避免強(qiáng)氣流；

避免與強(qiáng)電設(shè)備共用電源或布線，確保良好接地。

2. 掃描電子束不穩(wěn)定

表現(xiàn)：圖像邊緣發(fā)虛或跳動(dòng)，無法精確聚焦。

原因：

電壓電流不穩(wěn)定；

場(chǎng)發(fā)射源或燈絲老化；

高壓電源模塊故障或調(diào)節(jié)失常。

解決方法：

預(yù)熱設(shè)備，待電子槍穩(wěn)定；

降低加速電壓嘗試成像；

如問題持續(xù)，聯(lián)系工程師檢查電子槍或電源系統(tǒng)。

3. 樣品充電效應(yīng)

表現(xiàn)：圖像局部抖動(dòng)明顯，邊緣拖尾或閃動(dòng)。

原因：非導(dǎo)體樣品表面積聚靜電，干擾電子束掃描。

解決方法：

使用金屬（如金、鉑、碳）導(dǎo)電鍍膜；

降低加速電壓；

使用低真空或環(huán)境模式（若設(shè)備支持）；

確保樣品與樣品臺(tái)導(dǎo)電良好。

4. 樣品臺(tái)機(jī)械不穩(wěn)

表現(xiàn)：圖像微抖，有時(shí)伴隨位置漂移。

原因：樣品臺(tái)或托盤結(jié)構(gòu)松動(dòng)、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)磨損。

解決方法：

檢查樣品是否固定牢靠；

檢查樣品臺(tái)是否到位、有無間隙或卡滯；

若長期出現(xiàn)，建議由專業(yè)技術(shù)人員檢修樣品臺(tái)。

5. 軟件參數(shù)設(shè)置不當(dāng)

表現(xiàn)：快速掃描時(shí)抖動(dòng)嚴(yán)重，慢掃描較穩(wěn)定。

原因：

掃描速度設(shè)置過快；

同步或積分設(shè)置不足，抗干擾能力差。

解決方法：

采用慢速掃描模式；

開啟“幀平均”或“積分掃描”功能；

調(diào)整掃描參數(shù)提升圖像穩(wěn)定性。

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡造成圖像抖動(dòng)原因。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價(jià)格請(qǐng)咨詢15756003283(微信同號(hào))。