掃描電鏡（SEM）和光學(xué)掃描電鏡（OSEM）是兩種常用于材料科學(xué)、生物科學(xué)等領(lǐng)域的顯微鏡，它們有以下幾點(diǎn)區(qū)別：

原理：SEM利用電子束和樣品之間的相互作用，如樣品表面與電子束之間的反射、散射和二次電子發(fā)射等，來獲取圖像信息。而OSEM則是在SEM的基礎(chǔ)上，通過在SEM中加入透射光學(xué)系統(tǒng)，使得可以同時(shí)獲得透射光學(xué)和掃描電鏡圖像。

分辨率：SEM通常具有比光學(xué)顯微鏡更高的分辨率，可以觀察到更小尺寸的細(xì)節(jié)。SEM的分辨率通常在納米級別，而光學(xué)顯微鏡的分辨率通常在微米級別。

可觀察的樣品類型：SEM適用于觀察各種類型的樣品，包括無機(jī)材料、有機(jī)材料、生物樣品等，而OSEM則主要用于生物樣品的觀察，如細(xì)胞、組織等。

采集的信號類型：SEM主要采集來自樣品表面的二次電子、反射電子、散射電子等信號，從而獲得樣品表面的形貌和組成信息。而OSEM除了可以獲得類似SEM的圖像信息外，還可以通過透射光學(xué)系統(tǒng)獲取樣品內(nèi)部的透射光學(xué)圖像。

準(zhǔn)備樣品的要求：由于SEM和OSEM都需要在真空環(huán)境下工作，因此在準(zhǔn)備樣品時(shí)需要注意樣品的導(dǎo)電性和真空兼容性。對于SEM，樣品通常需要進(jìn)行金屬涂覆或者處理成導(dǎo)電形式；而對于OSEM，樣品通常需要較薄的截面，并且需要通過特定的樣品制備方法來保持樣品的透射性。

價(jià)格和復(fù)雜性：由于OSEM需要加入透射光學(xué)系統(tǒng)，因此相對于傳統(tǒng)的SEM而言，價(jià)格較高且復(fù)雜性較大。

總的來說，SEM和OSEM在原理、分辨率、樣品類型、信號類型、樣品準(zhǔn)備等方面存在一定的區(qū)別，適用于不同的應(yīng)用需求。選擇合適的顯微鏡類型應(yīng)該根據(jù)具體的研究對象和研究目的來進(jìn)行判斷和選擇。

ZEM15臺(tái)式掃描電子顯微鏡

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