掃描電鏡:截面的制備方法
日期:2022-12-26
使用掃描電鏡可以研究樣品的內(nèi)部結(jié)構(gòu)、測(cè)定鍍層厚度、元素?cái)U(kuò)散、填料是否均勻等,而為了樣品在電鏡中成像效果達(dá)到要求,需要觀(guān)察樣品的截面,在安裝時(shí)要將斷口面朝上。接下來(lái)便為大家分享樣品截面的制備。
截面制備方法分為兩類(lèi):直接斷口和拋光截面。
直接斷口
當(dāng)樣品為厚度不大的脆性薄片時(shí), 例如氧化鋁、 硅片、 陶瓷等可以將其掰斷或打斷。 注意保持原始斷口面清沽, 垂直安裝在樣品臺(tái)上直接觀(guān)察。
對(duì)于高分子材料可以沖斷或冷凍斷裂獲得斷口。 例如塑料和橡膠制品, 將樣品制成長(zhǎng)30mm、寬lOmm的樣品條, 厚度不超過(guò)4mm, 在長(zhǎng)邊的中間部位對(duì)切兩個(gè)小切口, 放入液氮深冷約lOmin后用尖嘴鉗夾住兩端掰斷。斷裂時(shí)鉗子和樣品均要浸在液氮中進(jìn)行。如用力均勻,樣品條將沿缺口斷開(kāi),然后將樣品截?cái)啵惭b在樣品臺(tái)上。對(duì)于些形狀特殊或比較小的樣品可使用專(zhuān)用的截面樣品臺(tái)。
拋光截面
一些樣品需要觀(guān)察金相組織、表面強(qiáng)化層結(jié)構(gòu)、鍍層質(zhì)量與厚度測(cè)量、印制電路板的缺陷、粉料幾何形狀、成分檢測(cè)等,須把樣品斷口表面拋光,為此要把樣品斷口夾持后進(jìn)行研磨拋光, 樣品的處理方法主要為以下兩種:
(1)樹(shù)脂鑲嵌
可根據(jù)樣品的特性及具體的情況,選擇自分醒樹(shù)脂熱鑲,或者是環(huán)氧樹(shù)脂、亞克力樹(shù)脂進(jìn)行冷鑲嵌。
(2)金屬夾板法
適用于形狀規(guī)則的樣品,如方形,長(zhǎng)形或板材。利用兩塊金屬夾板將樣品夾持,用螺栓固定住,即可進(jìn)行研磨拋光。此法的特點(diǎn)是樣品邊緣不會(huì)研磨出倒角,這對(duì)于評(píng)價(jià)鍍層或強(qiáng)化層質(zhì)量很重要。下圖為金屬夾板示意圖,可用兩塊3mm厚的鋼板,鋸成40mm長(zhǎng)、15mm寬,兩端對(duì)稱(chēng)部位安裝兩個(gè)直徑5mm螺栓。薄樣品可以同時(shí)夾持幾塊,在樣品之間用薄銅片隔開(kāi)。對(duì)于塑料等軟性材料不能使用此方法。
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作者:澤攸科技