掃描電鏡中常見的成像模式有哪些?
日期:2025-03-25
掃描電鏡(SEM)中常見的成像模式有多種,每種模式用于不同的分析目的,下面是一些常見的成像模式:
1. 二次電子成像模式(SEI, Secondary Electron Imaging)
特點:二次電子成像模式是掃描電鏡中常見的成像模式,主要通過探測樣品表面發(fā)射的二次電子來形成圖像。
用途:該模式提供樣品表面的高分辨率圖像,適用于觀察表面形貌、微觀結(jié)構(gòu)和表面特征。
優(yōu)點:可以獲得細致的表面細節(jié),分辨率高,適合形貌分析。
2. 背散射電子成像模式(BSE, Backscattered Electron Imaging)
特點:背散射電子成像模式探測從樣品內(nèi)部反射回來的電子。這些電子是高能電子與樣品原子發(fā)生碰撞后散射回來的。
用途:適用于分析樣品的元素組成和結(jié)構(gòu),尤其用于區(qū)分不同材料的對比度或顯示不同區(qū)域的密度差異。
優(yōu)點:通過背散射電子的不同強度,能夠反映材料的化學(xué)成分和結(jié)構(gòu)異質(zhì)性。
缺點:分辨率相對二次電子成像模式較低。
3. 復(fù)合成像模式(Composite Imaging)
特點:復(fù)合成像模式結(jié)合了二次電子成像和背散射電子成像的優(yōu)點,能夠同時展示樣品的表面形貌和元素對比信息。
用途:適用于需要同時獲取形貌和化學(xué)成分信息的樣品分析。
優(yōu)點:可以同時獲得形貌和成分信息,便于多維度的樣品分析。
4. X射線能譜成像(EDS, Energy Dispersive X-ray Spectroscopy)
特點:在掃描電鏡中,電子束激發(fā)樣品發(fā)射特征X射線,X射線能譜分析(EDS)可以用來定量或定性分析樣品的元素組成。
用途:用于元素分析和成分映射。
優(yōu)點:能夠檢測并確定樣品的化學(xué)成分,適合用于元素分布圖譜的生成。
5. 電子背散射衍射成像模式(EBSD, Electron Backscatter Diffraction)
特點:EBSD模式用于分析材料的晶體結(jié)構(gòu)、晶粒取向、晶界和相組成。它通過分析背散射電子的衍射圖譜來提供樣品的晶體學(xué)信息。
用途:用于晶體結(jié)構(gòu)分析、晶粒取向、材料的相成分以及應(yīng)力分析等。
優(yōu)點:能夠詳細分析晶體學(xué)結(jié)構(gòu)和材料的微觀組織。
6. 場發(fā)射掃描電鏡(FESEM, Field Emission SEM)
特點:場發(fā)射掃描電鏡使用場發(fā)射電子槍(FEG)代替?zhèn)鹘y(tǒng)的熱發(fā)射電子槍,提供更高的電子束亮度和更小的電子束直徑。
用途:適用于高分辨率圖像的獲得,特別是在觀察納米級別的細節(jié)時。
優(yōu)點:高分辨率和更好的成像質(zhì)量,適合觀察納米結(jié)構(gòu)和微小樣品。
7. 低真空成像模式(LV, Low Vacuum Imaging)
特點:低真空成像模式下,掃描電鏡的樣品室壓力較高,允許在更高的環(huán)境壓力下進行成像,而不是常規(guī)的高真空模式。
用途:適用于非導(dǎo)電樣品和生物樣品,減少了樣品的導(dǎo)電處理需求。
優(yōu)點:無需導(dǎo)電涂層,適用于非導(dǎo)電樣品。
8. 雙模態(tài)成像(Dual Mode Imaging)
特點:在雙模態(tài)成像模式下,掃描電鏡通過同時使用二次電子和背散射電子探測器,來實現(xiàn)同時觀察樣品的表面形貌和成分信息。
用途:適合進行形貌與成分的同時觀察和分析。
優(yōu)點:能夠獲得更多的樣品信息,進行綜合性分析。
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作者:澤攸科技