如何防止樣品在SEM成像過程中受到污染?
日期:2025-03-13
在掃描電子顯微鏡(SEM)成像過程中,樣品可能會受到污染,導(dǎo)致圖像質(zhì)量下降或影響分析結(jié)果。以下是一些防止污染的有效方法:
1. 預(yù)處理樣品,減少污染源
清潔樣品:使用超聲波清洗、去離子水沖洗或等離子清洗去除表面污染物。
干燥樣品:避免水分殘留,可使用烘干或真空干燥。
避免手接觸:用鑷子或手套處理樣品,防止皮脂污染。
2. 控制真空腔內(nèi)污染
定期清潔 SEM 樣品腔:使用等離子清洗或低能電子束清洗去除沉積污染。
避免使用高揮發(fā)性膠水或銀漆:可選擇低污染的導(dǎo)電膠或機(jī)械夾持方式固定樣品。
減少樣品倉打開次數(shù):頻繁暴露空氣可能帶入水汽和有機(jī)污染物。
3. 使用低束流和低加速電壓
電子束與樣品作用可能引發(fā)碳沉積污染,適當(dāng)降低束流和電壓可減少污染風(fēng)險。
4. 選擇適當(dāng)?shù)臉悠吠繉?/span>
絕緣樣品需噴金、碳或鉑,提高導(dǎo)電性并減少電子束誘導(dǎo)污染。
5. 采用低污染 SEM 運(yùn)行模式
低溫 SEM(冷臺):對生物或揮發(fā)性樣品可減少污染和損傷。
環(huán)境 SEM(ESEM):適用于含水或易揮發(fā)樣品,可減少污染沉積。
6. 維護(hù) SEM 儀器
保持高真空狀態(tài),防止有機(jī)分子在樣品上沉積。
定期更換真空泵油,防止油蒸氣污染。
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作者:澤攸科技
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