在掃描電鏡（SEM）中，樣品的放置角度與位置對(duì)圖像質(zhì)量、成像深度、對(duì)比度、分辨率等有著顯著的影響。優(yōu)化樣品的放置角度與位置，可以提高圖像的質(zhì)量并減少成像過(guò)程中可能出現(xiàn)的畸變。以下是一些優(yōu)化樣品放置角度與位置的方法：

1. 樣品放置角度

a. 優(yōu)化入射電子束角度

電子束在掃描電鏡中通常是垂直入射到樣品表面的。如果樣品表面相對(duì)于電子束的入射角度不合適，可能會(huì)導(dǎo)致表面傾斜，影響成像質(zhì)量，甚至產(chǎn)生畸變。為了減少這些問(wèn)題，通常選擇以下幾種放置角度：

平行于水平面放置：將樣品平行放置，確保電子束垂直入射。這對(duì)于表面平整的樣品非常有效。

輕微傾斜放置：對(duì)于不規(guī)則的樣品或者存在細(xì)微結(jié)構(gòu)的樣品，輕微傾斜樣品可以幫助提高對(duì)比度和減少陰影效應(yīng)。通常，傾斜角度可以控制在 5° 至 15° 之間。

大角度傾斜：如果要觀察樣品的不同側(cè)面或微觀結(jié)構(gòu)，可以將樣品傾斜至較大的角度（例如 30° 或 45°）。但要注意，過(guò)大的傾斜角度可能會(huì)導(dǎo)致成像的深度和對(duì)比度的下降，且可能無(wú)法顯示整個(gè)表面。

b. 考慮樣品的形狀和特征

對(duì)于不同形狀和特征的樣品，放置角度的選擇是至關(guān)重要的。例如，尖銳的物體、細(xì)小的納米結(jié)構(gòu)、或者不規(guī)則的表面，可能需要特殊的放置角度來(lái)獲得高質(zhì)量成像效果。通過(guò)傾斜樣品，可以有選擇性地優(yōu)化特定區(qū)域的成像質(zhì)量。

2. 樣品的準(zhǔn)確定位

a. 樣品對(duì)準(zhǔn)電子束

確保樣品表面平整且對(duì)準(zhǔn)電子束中心，以獲得清晰的圖像?？梢酝ㄟ^(guò)顯微鏡的 自動(dòng)樣品對(duì)準(zhǔn) 或 手動(dòng)微調(diào) 來(lái)實(shí)現(xiàn)：

使用 焦距調(diào)整：調(diào)整聚焦以確保樣品表面清晰。

使用 樣品定位臺(tái)：準(zhǔn)確調(diào)整樣品的 x、y、z 位置，確保樣品的正確放置和對(duì)準(zhǔn)。

微調(diào)操作：通過(guò)細(xì)微的移動(dòng)調(diào)整樣品位置，可以進(jìn)一步提高成像質(zhì)量，減少像差。

b. 避免樣品偏移

如果樣品在掃描過(guò)程中發(fā)生微小位移，會(huì)影響圖像質(zhì)量，造成模糊或不連貫的結(jié)果。為了防止這種情況，確保：

樣品固定：樣品應(yīng)該穩(wěn)固地固定在樣品臺(tái)上，避免樣品在掃描過(guò)程中移動(dòng)。

使用 粘合劑 或 導(dǎo)電膠：對(duì)于非導(dǎo)電材料，使用導(dǎo)電膠或粘合劑可以幫助穩(wěn)定樣品。

c. 樣品表面清潔度

樣品表面的清潔度直接影響電子束的掃描效果。樣品表面上存在灰塵或其他污染物，可能會(huì)引起散射，影響成像的質(zhì)量。確保樣品表面清潔，并避免在掃描過(guò)程中再次污染。

3. 考慮工作距離（Working Distance）

工作距離是指掃描電鏡的物鏡與樣品表面之間的距離。工作距離的優(yōu)化對(duì)于圖像的分辨率和深度至關(guān)重要：

較短的工作距離：較短的工作距離通常能提供更高的分辨率，但也可能導(dǎo)致樣品表面過(guò)于傾斜或失焦。優(yōu)化工作距離可以提高成像清晰度，特別是當(dāng)樣品表面較為平整時(shí)。

較長(zhǎng)的工作距離：較長(zhǎng)的工作距離適用于樣品表面不平整、形狀不規(guī)則時(shí)，可以幫助增加成像深度，使得不平整表面的結(jié)構(gòu)得以完整呈現(xiàn)。

4. 使用樣品傾斜臺(tái)進(jìn)行精細(xì)調(diào)節(jié)

許多掃描電鏡配備了 樣品傾斜臺(tái)，可以方便地在多個(gè)方向上微調(diào)樣品的角度和位置。通過(guò)調(diào)整樣品的傾斜角度，可以：

增強(qiáng)樣品表面某些特征的可見(jiàn)性。

通過(guò)選擇合適的入射角，減少樣品的陰影效應(yīng)或過(guò)度反射。

使樣品表面盡量與電子束的入射方向平行，從而提高成像的清晰度和對(duì)比度。

5. 優(yōu)化成像條件

除了優(yōu)化樣品的角度和位置，其他一些成像條件也會(huì)影響圖像的質(zhì)量：

a. 選擇適當(dāng)?shù)募铀匐妷?/span>

加速電壓決定了電子束的能量，過(guò)高的電壓可能會(huì)導(dǎo)致樣品過(guò)度激發(fā)，產(chǎn)生非期望的信號(hào)或損傷；而過(guò)低的電壓可能會(huì)導(dǎo)致分辨率不夠。一般來(lái)說(shuō)，低加速電壓有助于提高表面細(xì)節(jié)的成像效果，而高加速電壓適用于更深層次的成像。

b. 調(diào)整掃描速度和探測(cè)器設(shè)置

掃描速度：調(diào)整掃描速度可以幫助提高圖像的細(xì)節(jié)，較低的掃描速度通常提供更清晰的圖像，但需要較長(zhǎng)的成像時(shí)間。

探測(cè)器選擇：根據(jù)樣品的性質(zhì)，選擇合適的探測(cè)器類(lèi)型，如二次電子探測(cè)器（SE）和背散射電子探測(cè)器（BSE），有助于獲取不同類(lèi)型的信息。對(duì)于高分辨率成像，建議使用 SE 探測(cè)器。

6. 利用模擬和虛擬對(duì)焦技術(shù)

一些掃描電鏡配備有 虛擬對(duì)焦 或 深度成像 技術(shù)，可以在不同的焦距下合成圖像，增強(qiáng)圖像的深度信息。當(dāng)樣品表面不平整時(shí)，虛擬對(duì)焦技術(shù)尤其有用，可以在多個(gè)焦點(diǎn)上獲取圖像，并通過(guò)后處理合成更高質(zhì)量的圖像。

以上就是澤攸科技小編分享的如何在掃描電鏡中優(yōu)化樣品的放置角度與位置。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價(jià)格請(qǐng)咨詢