掃描電鏡圖像過暗或過亮的調(diào)整方法
日期:2024-11-29
掃描電鏡(SEM)圖像過暗或過亮通常與圖像的曝光、增益設(shè)置、探測(cè)器選擇以及樣品表面特性有關(guān)。以下是一些調(diào)整方法:
1. 調(diào)整電子束曝光時(shí)間
過暗:增加曝光時(shí)間,使電子束與樣品的相互作用時(shí)間更長,從而提高圖像亮度。
過亮:減少曝光時(shí)間,以避免過多的電子被樣品吸收,導(dǎo)致圖像過亮或飽和。
2. 調(diào)整增益/亮度/對(duì)比度設(shè)置
過暗:增大增益值(或亮度設(shè)置),以提高信號(hào)強(qiáng)度。
過亮:減少增益,降低信號(hào)強(qiáng)度,避免圖像過曝。
3. 調(diào)整探測(cè)器靈敏度
過暗:選擇更靈敏的探測(cè)器(如 secondary electron detector)或者提高探測(cè)器的增益設(shè)置。
過亮:調(diào)低探測(cè)器的增益,或者切換到不同類型的探測(cè)器,如 backscattered electron detector (BSE),它通??梢蕴峁└獾牧炼?。
4. 優(yōu)化樣品表面
過暗:樣品表面可能過于粗糙或不導(dǎo)電,導(dǎo)致電子散射過多。確保樣品表面涂覆一層導(dǎo)電材料(如金、鉑等),以提高信號(hào)的反射。
過亮:樣品表面可能太光滑或存在過度導(dǎo)電材料。嘗試調(diào)整樣品涂層厚度。
5. 調(diào)整工作距離(WD)
過暗:減小工作距離可以增加信號(hào)的強(qiáng)度。
過亮:增加工作距離,減少電子束的散射。
6. 調(diào)節(jié)加速電壓(HV)
過暗:提高加速電壓可以增加電子束的穿透力,從而提高圖像亮度,尤其是在觀察較深的樣品時(shí)。
過亮:降低加速電壓,減少電子束的穿透力。
7. 后處理圖像
在導(dǎo)出圖像之前,使用軟件(如 Igor Pro、ImageJ 等)進(jìn)行圖像增強(qiáng)、調(diào)整亮度、對(duì)比度和伽馬值等,以進(jìn)一步改善圖像質(zhì)量。
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作者:澤攸科技