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如何在掃描電鏡中避免樣品的輻射損傷

日期:2024-10-30

掃描電鏡(SEM)中,避免樣品的輻射損傷非常重要,特別是對敏感材料和生物樣品。以下是一些有效的策略:

1. 調(diào)整加速電壓

使用較低的加速電壓:降低電子束的加速電壓可以減少樣品表面的能量輸入,從而降低輻射損傷的風(fēng)險(xiǎn),尤其適合對輻射敏感的材料。

2. 控制束流強(qiáng)度

調(diào)節(jié)束流:選擇適當(dāng)?shù)氖鲝?qiáng)度,以降低對樣品的輻照量。束流越低,輻射損傷的風(fēng)險(xiǎn)越小,但需要在成像質(zhì)量和輻射損傷之間找到平衡。

3. 減少掃描時(shí)間

縮短掃描時(shí)間:通過降低圖像分辨率或減少每個(gè)區(qū)域的掃描時(shí)間,可以降低樣品在電子束下暴露的時(shí)間,減少輻射損傷。

4. 使用快速成像技術(shù)

快速掃描模式:利用快速成像技術(shù)(如場發(fā)射掃描電鏡的快速成像模式),可以在較短時(shí)間內(nèi)獲得圖像,減少樣品的輻射損傷。

5. 實(shí)施樣品冷卻

冷卻樣品:使用冷卻裝置(如液氮冷卻)降低樣品溫度,通常低溫下樣品對輻射的耐受性更強(qiáng)。

6. 優(yōu)化樣品準(zhǔn)備

導(dǎo)電涂層:在非導(dǎo)電樣品表面涂覆一層導(dǎo)電膜(如金或碳),可以有效減少輻射損傷,增加電子束的導(dǎo)電性。

選擇合適的樣品:優(yōu)先選擇對輻射損傷不敏感的樣品,或經(jīng)過處理的樣品,以提高耐輻射能力。

7. 實(shí)施動(dòng)態(tài)觀察

實(shí)時(shí)監(jiān)測與控制:通過實(shí)時(shí)監(jiān)測樣品狀態(tài),動(dòng)態(tài)調(diào)整成像參數(shù),盡可能降低輻射對樣品的影響。

8. 采用防護(hù)措施

樣品罩或隔離:在樣品與電子束之間使用合適的防護(hù)罩或隔離裝置,減少輻射對樣品的直接照射。

9. 使用中和裝置

電子束中和器:使用電子束中和器中和樣品表面可能產(chǎn)生的電荷,從而減少因電荷積累導(dǎo)致的輻射損傷。

10. 定期維護(hù)設(shè)備

設(shè)備校準(zhǔn):定期校準(zhǔn)和維護(hù)掃描電鏡,以確保電子束的穩(wěn)定性,避免因設(shè)備故障引發(fā)的意外輻射損傷。

以上就是澤攸科技小編分享的如何在掃描電鏡中避免樣品的輻射損傷。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價(jià)格請咨詢v


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作者:澤攸科技


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