在臺式掃描電子顯微鏡（SEM）中進行多點成像和分析是一種常見的操作，特別是在需要分析多個感興趣區(qū)域或在樣品的不同位置進行比較時。以下是如何在臺式SEM中實現(xiàn)這一過程的步驟：

1. 準備樣品

確保樣品已正確安裝在樣品臺上，并且表面清潔。然后，將樣品臺放置在SEM的樣品腔中，并抽真空。

2. 定位樣品

使用SEM的低倍率模式（通常是SEI模式）來找到樣品的大致位置和感興趣區(qū)域（ROI）。然后，可以使用光學顯微鏡功能（如果配備）來進一步調(diào)整樣品位置。

3. 設(shè)置多點成像

多點成像涉及選擇多個感興趣區(qū)域，然后在每個區(qū)域上進行成像。以下是具體步驟：

方法1：手動選擇和成像

導航到感興趣區(qū)域：使用X-Y樣品臺控制器導航到感興趣區(qū)域。

成像：選擇適當?shù)募铀匐妷?、束流強度、工作距離等參數(shù)，并進行成像。

記錄坐標：記錄當前樣品臺的X-Y坐標，便于稍后返回此區(qū)域。

重復操作：移動樣品臺到下一個感興趣區(qū)域，并重復成像步驟。

方法2：自動多點成像（如果SEM支持）

設(shè)置自動多點成像程序：一些臺式SEM允許用戶預設(shè)多個點的X-Y坐標。通過軟件界面輸入這些坐標，并設(shè)置自動成像參數(shù)。

執(zhí)行多點成像：啟動程序，SEM將自動移動樣品臺并在預設(shè)點上進行成像。

4. 圖像和數(shù)據(jù)分析

采集到的圖像可以在SEM自帶的軟件中進行分析。以下是常見的分析操作：

尺寸測量：使用軟件中的測量工具對感興趣區(qū)域的特征進行尺寸測量。

成分分析（如果配備EDS）：在每個成像點上執(zhí)行能譜分析（EDS），獲得樣品成分信息。

表面形貌分析：分析表面結(jié)構(gòu)，識別顆粒、缺陷或其他表面特征。

5. 保存與導出數(shù)據(jù)

將每個成像點的圖像和分析數(shù)據(jù)保存到SEM的軟件系統(tǒng)中，或者導出為常見的圖像格式（如TIFF、JPEG）和數(shù)據(jù)格式（如CSV、Excel）。

6. 創(chuàng)建報告

在完成所有多點成像和分析后，可以使用SEM軟件中的報告生成功能，將圖像、測量數(shù)據(jù)和分析結(jié)果匯總到一個報告中。報告通?？梢詫С鰹镻DF或其他文檔格式，便于進一步共享和研究。

7. 復核與驗證

在必要時，可以返回特定點重新進行成像和分析，以驗證結(jié)果的準確性和一致性。此時，記錄的X-Y坐標可以幫助快速定位之前的成像區(qū)域。

以上就是澤攸科技小編分享的如何在臺式掃描電鏡中進行多點成像和分析。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價格請咨詢