在掃描電鏡（SEM）中實(shí)現(xiàn)多種信號(hào)檢測(cè)，可以通過使用不同類型的探測(cè)器和調(diào)整相關(guān)設(shè)置來捕捉樣品的多維信息。以下是實(shí)現(xiàn)多種信號(hào)檢測(cè)的詳細(xì)步驟和方法：

常見信號(hào)類型及其探測(cè)器

二次電子（SE）：

探測(cè)器：二次電子探測(cè)器（SED）

用途：用于表面形貌和細(xì)節(jié)觀察，分辨率高。

背散射電子（BSE）：

探測(cè)器：背散射電子探測(cè)器（BSED）

用途：用于成分對(duì)比和原子序數(shù)對(duì)比，重元素信號(hào)更強(qiáng)。

X射線：

探測(cè)器：能量色散X射線探測(cè)器（EDS）

用途：用于元素分析和成分定量。

陰極熒光（CL）：

探測(cè)器：陰極熒光探測(cè)器

用途：用于分析樣品的光學(xué)特性和電子帶結(jié)構(gòu)。

透射電子（TE）：

探測(cè)器：透射電子探測(cè)器（用于STEM模式）

用途：用于薄樣品的內(nèi)部結(jié)構(gòu)觀察。

設(shè)置與操作步驟

1. 準(zhǔn)備工作

樣品制備：

準(zhǔn)備合適的樣品，確保樣品大小適合SEM樣品臺(tái)。

如果需要多種信號(hào)檢測(cè)，確保樣品表面清潔，減少污染。

安裝樣品：

將樣品固定在樣品臺(tái)上，確保樣品穩(wěn)定。

2. 設(shè)置SEM參數(shù)

選擇適當(dāng)?shù)募铀匐妷海?/span>

根據(jù)樣品類型和信號(hào)類型選擇適當(dāng)?shù)募铀匐妷?。例如，較低的加速電壓（1-5 kV）適用于表面形貌觀察，高電壓（10-30 kV）適用于成分分析。

調(diào)整束流電流：

調(diào)整束流電流以獲得清晰的圖像，同時(shí)避免樣品損傷。

3. 激活并調(diào)整探測(cè)器

二次電子探測(cè)器（SED）

二次電子探測(cè)器（SED）：

啟動(dòng)SED，調(diào)整工作距離和探測(cè)器位置以獲得高質(zhì)量圖像。

通過調(diào)節(jié)信號(hào)增益和對(duì)比度，優(yōu)化圖像質(zhì)量。

背散射電子探測(cè)器（BSED）：

啟動(dòng)BSED，調(diào)整探測(cè)器角度和工作距離。

調(diào)節(jié)信號(hào)強(qiáng)度以突出不同元素的對(duì)比。

能量色散X射線探測(cè)器（EDS）：

啟動(dòng)EDS，選擇適當(dāng)?shù)奶綔y(cè)參數(shù)（如探測(cè)區(qū)域和能量范圍）。

進(jìn)行點(diǎn)分析、線掃描或面掃描，獲取樣品的元素成分信息。

陰極熒光探測(cè)器（CL）：

啟動(dòng)CL探測(cè)器，調(diào)整激發(fā)電壓和探測(cè)器設(shè)置。

觀察并記錄樣品的熒光圖像。

透射電子探測(cè)器（STEM模式）：

啟動(dòng)透射電子探測(cè)器，調(diào)整工作條件以適應(yīng)STEM模式。

觀察樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)，獲取高分辨率圖像。

4. 數(shù)據(jù)采集與分析

實(shí)時(shí)圖像采集：

使用SEM的圖像采集功能，實(shí)時(shí)捕捉多種信號(hào)的圖像。

對(duì)于動(dòng)態(tài)過程，可以使用視頻記錄功能。

數(shù)據(jù)分析：

使用SEM自帶的分析軟件或第三方軟件，對(duì)采集到的信號(hào)進(jìn)行分析。

例如，對(duì)于EDS數(shù)據(jù)，可以進(jìn)行定量分析和元素分布映射。

示例操作步驟

示例1：同時(shí)檢測(cè)SE和BSE信號(hào)

準(zhǔn)備和安裝樣品：

將樣品固定在樣品臺(tái)上，并插入SEM腔體。

設(shè)置加速電壓和束流電流：

設(shè)置加速電壓為10 kV，調(diào)整束流電流以獲得清晰圖像。

啟動(dòng)SED和BSED：

啟動(dòng)二次電子探測(cè)器和背散射電子探測(cè)器。

調(diào)整探測(cè)器位置和工作距離。

優(yōu)化圖像：

調(diào)節(jié)SED和BSED的信號(hào)增益和對(duì)比度，獲取高質(zhì)量圖像。

圖像采集：

實(shí)時(shí)采集并保存SE和BSE圖像。

示例2：結(jié)合SE、BSE和EDS進(jìn)行成分分析

準(zhǔn)備和安裝樣品：

將樣品固定在樣品臺(tái)上，并插入SEM腔體。

設(shè)置加速電壓和束流電流：

設(shè)置加速電壓為20 kV，調(diào)整束流電流以獲得清晰圖像。

啟動(dòng)SED、BSED和EDS：

啟動(dòng)二次電子探測(cè)器、背散射電子探測(cè)器和能量色散X射線探測(cè)器。

調(diào)整探測(cè)器位置和工作距離。

采集SE和BSE圖像：

調(diào)節(jié)探測(cè)器設(shè)置，獲取高質(zhì)量圖像。

實(shí)時(shí)采集并保存SE和BSE圖像。

進(jìn)行EDS分析：

選擇感興趣的區(qū)域，啟動(dòng)EDS進(jìn)行點(diǎn)分析、線掃描或面掃描。

記錄并分析EDS光譜數(shù)據(jù)，獲取樣品的元素成分信息。

綜合分析：

將SE、BSE圖像和EDS數(shù)據(jù)結(jié)合，進(jìn)行綜合分析，確定樣品的形貌和成分分布。

注意事項(xiàng)

樣品穩(wěn)定性：確保樣品在整個(gè)檢測(cè)過程中保持穩(wěn)定，避免因樣品移動(dòng)影響結(jié)果。

信號(hào)干擾：在多信號(hào)檢測(cè)時(shí)，注意避免不同信號(hào)之間的干擾，確保各信號(hào)的獨(dú)立性和準(zhǔn)確性。

數(shù)據(jù)備份：定期備份圖像和數(shù)據(jù)，防止數(shù)據(jù)丟失。

以上就是澤攸科技小編分享的如何在掃描電鏡中實(shí)現(xiàn)多種信號(hào)檢測(cè)的介紹。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價(jià)格請(qǐng)咨詢