在掃描電鏡（SEM）成像中，樣品表面充電是一個常見的問題，可能會導致圖像質量下降、圖像失真甚至無法成像。為了解決樣品表面充電問題，可以采取以下幾種方法：

導電性涂層：在樣品表面涂覆一層導電性涂層，如金屬薄膜或碳薄膜，可以有效地提高樣品表面的導電性，減少表面充電。導電性涂層可以通過濺射、真空蒸鍍、噴涂等方法制備。

金屬鍍覆：對樣品表面進行金屬鍍覆，使樣品表面成為導電表面，減少表面充電。金屬鍍覆可以通過真空蒸鍍、濺射等方法實現(xiàn)，常用的金屬包括金、銀、銅等。

樣品處理：在樣品制備過程中，可以采取一些樣品處理方法來減少表面充電，如在樣品表面沉積一層導電性材料、去除表面吸附的水分或有機物等。

低電壓成像：降低掃描電鏡的加速電壓可以減少對樣品的電子束轟擊，從而減少樣品表面的充電現(xiàn)象。但是需要注意的是，降低加速電壓會降低分辨率和信噪比。

使用低電流模式：在掃描電鏡成像中選擇較低的電子束電流模式，可以減少對樣品表面的電子束轟擊，從而減少表面充電現(xiàn)象。

地線接地：確保掃描電鏡和樣品支架的地線連接良好，使電荷能夠及時地通過地線排放到地面，減少表面充電。

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡成像中的樣品表面充電問題如何解決。更多掃描電鏡產品及價格請咨詢