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掃描電鏡圖像中的三維效應(yīng)是如何實(shí)現(xiàn)的

日期:2024-01-25

掃描電鏡(SEM)圖像中的三維效應(yīng)是通過(guò)以下方式實(shí)現(xiàn)的:

電子束的掃描: SEM使用高能電子束掃描樣本表面。電子束以高速在樣本表面移動(dòng),與樣本發(fā)生相互作用。

電子的散射和吸收: 電子束與樣本中的原子相互作用,包括散射和吸收。這些相互作用導(dǎo)致了電子的不同透射和散射路徑。

探測(cè)器測(cè)量信號(hào): SEM中配備了探測(cè)器,用于測(cè)量與樣本相互作用產(chǎn)生的信號(hào),包括反射電子、二次電子和后散射電子。

拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)的影響: 樣本表面的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu),即表面的形狀和高度差異,會(huì)影響電子束的反射和散射。這導(dǎo)致在圖像中看到不同部分的明暗和陰影,呈現(xiàn)出表面的三維效應(yīng)。

后散射電子貢獻(xiàn): 特別是后散射電子是在電子束與原子相互作用后從樣本中散射出來(lái)的電子。這些電子提供了關(guān)于樣本深層結(jié)構(gòu)的信息,從而增強(qiáng)了圖像的三維感覺(jué)。

ZEM20臺(tái)式掃描電鏡

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作者:澤攸科技


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