在掃描電子顯微鏡（SEM）成像過程中，樣品可能出現(xiàn)偽影，這可能是由于電子束與樣品相互作用引起的。以下是一些減少或避免偽影的方法：

導(dǎo)電涂層：

對非導(dǎo)電樣品進(jìn)行金屬或碳的導(dǎo)電涂層，以提高樣品的導(dǎo)電性，減少電荷積累和偽影的發(fā)生。

低電子束能量：

減小電子束的能量，可以減少電子與樣品相互作用，減少電子的穿透深度，從而降低偽影的發(fā)生。

防靜電設(shè)備：

使用防靜電設(shè)備，如防靜電籠、靜電消除器等，以減小樣品表面的電荷積累。

樣品傾斜：

將樣品傾斜一定角度，以改變電子束入射角度，減少電子的反射和散射，有助于減少偽影。

低真空模式：

在低真空或中真空模式下進(jìn)行觀察，減小氣體與電子的碰撞，降低電荷的堆積和偽影的產(chǎn)生。

適當(dāng)?shù)慕裹c(diǎn)和亮度設(shè)置：

確保SEM的焦點(diǎn)和亮度設(shè)置適當(dāng)，過高或過低的設(shè)置可能導(dǎo)致偽影。優(yōu)化這些參數(shù)有助于獲得清晰的圖像。

使用透射電子顯微鏡（TEM）：

對于一些特定樣品，可以考慮使用透射電子顯微鏡，因?yàn)樵赥EM中，電子通過樣品而不是被樣品散射，可以減小偽影的發(fā)生。

樣品冷凍：

在觀察過程中冷凍樣品，可以減緩電子與樣品相互作用，減小電荷堆積和偽影的發(fā)生。

樣品處理和準(zhǔn)備：

注意樣品的處理和準(zhǔn)備過程，確保樣品表面的平整度和清潔度，以減小電子的反射和散射。

使用透明導(dǎo)電材料：

一些透明導(dǎo)電材料具有導(dǎo)電性且透明的性質(zhì)，可以降低電子的反射和散射，減小偽影。

根據(jù)具體的樣品和觀察需求，可以結(jié)合使用上述方法，以盡量減少或避免在SEM成像中出現(xiàn)的偽影。

ZEM18臺(tái)式掃描電鏡

以上就是澤攸科技小編分享的如何在掃描電鏡中避免或減少樣品在成像過程中的偽影。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價(jià)格請咨詢