掃描電鏡是一種使用電子束來高分辨率地成像樣品表面的儀器。其主要組成部分包括：

電子槍： 電子槍是掃描電鏡的核心部分，負責(zé)發(fā)射電子束。這個電子束通常由熱陰極發(fā)射電子，并通過電場聚焦形成細束。

樣品室： 樣品室是放置待觀察樣品的區(qū)域。樣品通常需要被制備成導(dǎo)電的狀態(tài)，以便電子束的引導(dǎo)和探測。

電子透鏡系統(tǒng)： 電子透鏡系統(tǒng)由一系列電磁透鏡組成，用于調(diào)整和聚焦電子束，以確保其能夠準(zhǔn)確地掃描樣品表面。

掃描線圈： 掃描線圈用于控制電子束在樣品表面的移動。通過調(diào)整掃描線圈的電流，可以實現(xiàn)掃描電子束在樣品表面的不同區(qū)域，從而獲取整個圖像。

二次電子探測器： 二次電子探測器用于檢測樣品表面被電子束擊中后產(chǎn)生的二次電子。這些二次電子攜帶有關(guān)樣品表面的信息，用于生成圖像。

信號放大器和處理器： 二次電子信號被放大和處理，以產(chǎn)生圖像。這通常涉及到信號的轉(zhuǎn)換、放大和數(shù)字化。

顯示器和計算機： 掃描電鏡通過顯示器和計算機來顯示和處理圖像。這些設(shè)備使操作人員能夠?qū)崟r觀察樣品表面的細節(jié)，并進行圖像分析。

這些組成部分共同作用，使得掃描電鏡能夠以高分辨率、高對比度地獲取樣品表面的圖像，廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域的研究和分析。

ZEM20臺式掃描電鏡

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