掃描電鏡中的電子束與樣品相互作用并產生圖像的過程涉及到多種物理和電子學原理。以下是電子束與樣品相互作用以及圖像生成的基本過程：

電子發(fā)射：SEM中使用的電子束通常由電子槍產生。這個電子槍可以是冷陰極或熱陰極，它們發(fā)射高速電子，通常具有幾千伏的能量。

聚焦和調制：通過透鏡系統將電子束聚焦為細束，并可以通過透鏡電壓進行調制，以控制電子束的聚焦和聚焦點的位置。

電子與樣品相互作用：電子束擊中樣品表面時，發(fā)生多種相互作用，包括：

彈性散射：部分電子以彈性方式散射，這不會在圖像中產生信號。

非彈性散射：一些電子被樣品中的原子或分子激發(fā)，產生次級電子和Auger電子，這些電子用于成像。

透射電子：一部分電子穿透樣品并被探測器捕獲，用于后續(xù)分析（透射電子顯微鏡中使用）。

次級電子成像：大多數SEM中使用次級電子成像模式。在次級電子成像模式下，通過收集從樣品表面產生的次級電子，構建出樣品表面的形貌和拓撲信息。次級電子的數量和能量分布與樣品的拓撲結構有關，因此可以產生高對比度的表面圖像。

X射線或后向散射成像：SEM還可以用于X射線能譜分析或后向散射成像，這些技術可用于獲得樣品的化學成分信息。

掃描：SEM電子束被掃描在樣品表面上移動，每個位置收集次級電子或其他信號，然后構建出整個圖像。

圖像顯示：SEM圖像通常以灰度圖像的形式顯示，其中不同的灰度級別表示不同的電子信號強度，從而呈現出樣品的表面形貌和拓撲信息。

ZEM15臺式掃描電子顯微鏡

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