掃描電鏡的分辨率有多高？
日期：2023-09-14
掃描電鏡的分辨率非常高，通常能夠實現(xiàn)亞納米級別的分辨率。分辨率是指顯微鏡能夠分辨并顯示兩個鄰近對象或特征之間的距離。
掃描電鏡的分辨率受到多種因素的影響，包括電子束的能量、樣品的性質以及儀器的設計和性能。通常，掃描電鏡的分辨率在0.5納米（0.5 nm）到5納米（5 nm）之間，具體數(shù)值取決于特定儀器的規(guī)格。一些掃描電鏡甚至可以達到更高的分辨率。
以下是影響SEM分辨率的主要因素：
電子束能量： 較高能量的電子束通常具有更短的波長，因此具有更高的分辨率。然而，電子束能量也會影響樣品的表面相互作用和成像深度。
透鏡和檢測器設計： SEM使用一系列電子透鏡和檢測器來聚焦和收集電子信號。儀器的設計和性能會影響分辨率。
樣品準備： 樣品的表面準備和涂覆可能會影響SEM圖像的質量和分辨率。
工作模式： SEM可以在不同的成像模式下操作，包括二次電子成像（SEI）和反射電子成像（BEI）。不同模式下的分辨率可能有所不同。
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作者：澤攸科技
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