在掃描電子顯微鏡（SEM）中，深度探針是指電子束在樣本表面掃描期間所能達到的深度范圍。它與電子束的特性、樣本性質(zhì)以及掃描參數(shù)有關(guān)。深度探針的大小決定了電子束在樣本表面上相對于表面的深度范圍，即電子束穿透樣本表面的程度。

深度探針在以下情況下會被考慮和使用：

表面形貌和拓?fù)浞治觯?當(dāng)需要研究樣本的表面形貌、結(jié)構(gòu)、紋理以及微觀拓?fù)涮卣鲿r，可以使用較淺的深度探針，以確保電子束只在樣本表面掃描，不深入樣本內(nèi)部。

斷面觀察： 有時需要觀察樣本的橫截面，了解樣本的內(nèi)部結(jié)構(gòu)和層次。在這種情況下，需要較大的深度探針，使電子束能夠穿透樣本表面并進入一定深度，從而觀察到樣本的內(nèi)部層次。

化學(xué)成分分析： 使用能量色散X射線譜（EDS）附加設(shè)備，可以對樣本進行化學(xué)成分分析。適當(dāng)選擇深度探針可以在不破壞樣本的情況下獲取元素分布信息。

導(dǎo)電性分析： 對于非導(dǎo)電的樣本，高探針電流可能引起電荷積累和圖像失真。選擇合適的深度探針可以減輕這些問題。

薄層和涂層分析： 對于涂層、薄層或多層結(jié)構(gòu)的樣本，適當(dāng)?shù)纳疃忍结樋梢詭椭^察不同層的界面和結(jié)構(gòu)。

ZEM15臺式掃描電鏡能譜一體機

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