掃描電鏡的探針電子束和樣品之間的工作距離如何控制？
日期：2023-07-06
在掃描電鏡（SEM）中，探針電子束與樣品之間的工作距離是非常關鍵的，它會直接影響到成像的清晰度和信號強度。以下是一些常見的方法和控制參數(shù)，用于控制探針電子束和樣品之間的工作距離：
調(diào)整樣品臺高度：SEM通常配備有可以控制樣品臺高度的裝置。通過上升或下降樣品臺，可以調(diào)整探針電子束與樣品之間的工作距離。調(diào)整樣品臺高度可以改變電子束的入射角度和聚焦效果。
工作距離調(diào)節(jié)器：一些SEM系統(tǒng)配備了工作距離調(diào)節(jié)器，它可以準確控制探針電子束和樣品之間的距離。這種調(diào)節(jié)器通常由納米級的位置調(diào)節(jié)裝置組成，通過微小的移動來實現(xiàn)工作距離的調(diào)整。
對焦：SEM通常具有對焦功能，可以調(diào)整探針電子束的聚焦效果。通過對焦功能，可以改變探針電子束的聚焦平面，從而影響到與樣品之間的工作距離。
檢查樣品和電子槍熱點位置：在進行SEM操作之前，需要確保樣品的平整性和正確的安裝位置。同時，還需要檢查電子槍熱點的位置，以確保電子束發(fā)射的穩(wěn)定性和準確性。
電子束和樣品的對準：SEM通常具有對準功能，可以將探針電子束準確對準到樣品的感興趣區(qū)域。通過對準功能，可以使探針電子束與樣品之間的工作距離保持穩(wěn)定并準確。
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作者：澤攸科技