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掃描電鏡中的探針和探頭是什么?

日期:2023-06-20

在掃描電鏡(SEM)中,探針和探頭是兩個(gè)不同的概念,它們用于描述電子束與樣品之間的相互作用。

探針(Probe):探針通常指的是電子束在樣品表面聚焦形成的非常細(xì)小的電子束。這個(gè)電子束用于掃描樣品表面并與樣品相互作用。探針的直徑可以調(diào)整,通??梢赃_(dá)到幾納米到數(shù)十納米的量級(jí),具體取決于儀器的設(shè)置和需求。探針的聚焦和定位對(duì)于獲得高分辨率的圖像和準(zhǔn)確的分析結(jié)果非常重要。

探頭(Detector):探頭是用于檢測(cè)樣品表面反射或散射的信號(hào)的裝置。在掃描電鏡中,有多種類型的探頭用于接收不同類型的信號(hào)。常見(jiàn)的探頭包括次級(jí)電子探頭(Secondary Electron Detector)和后向散射電子探頭(Backscattered Electron Detector)。次級(jí)電子探頭用于檢測(cè)樣品表面產(chǎn)生的次級(jí)電子信號(hào),這些電子是由電子束與樣品表面的原子和分子相互作用產(chǎn)生的。后向散射電子探頭用于檢測(cè)由電子束與樣品表面相互作用后,被散射回到探頭的電子信號(hào)。這些探頭接收到的信號(hào)經(jīng)過(guò)處理和放大后,可以形成樣品表面的圖像。

需要注意的是,探針和探頭是兩個(gè)不同的概念,探針是指電子束,而探頭是指用于檢測(cè)信號(hào)的裝置。

ZEM15臺(tái)式掃描電子顯微鏡

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作者:澤攸科技


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