臺(tái)式掃描電鏡制樣關(guān)鍵點(diǎn)
日期:2023-05-09
臺(tái)式掃描電鏡是一種常用的材料表征技術(shù),其制樣質(zhì)量是影響SEM觀(guān)察結(jié)果的關(guān)鍵因素之一。以下是掃描電鏡制樣的關(guān)鍵點(diǎn):
樣品準(zhǔn)備:SEM制樣之前需要對(duì)樣品進(jìn)行處理和準(zhǔn)備。不同的樣品類(lèi)型需要采用不同的處理方法,例如金屬樣品需要拋光和電解拋光,生物樣品需要進(jìn)行固定和切片等處理。在樣品準(zhǔn)備過(guò)程中,應(yīng)注意避免引入外來(lái)雜質(zhì)和污染物,以及對(duì)樣品形態(tài)和結(jié)構(gòu)的破壞。
樣品固定:將樣品固定在制樣支撐物上。常用的制樣支撐物包括碳膜、網(wǎng)狀金屬片、銅網(wǎng)等,應(yīng)根據(jù)樣品類(lèi)型和分析需求選擇合適的支撐物。在固定樣品的過(guò)程中,應(yīng)避免強(qiáng)烈的機(jī)械沖擊和溫度變化,以避免樣品形態(tài)和結(jié)構(gòu)的改變。
制備薄膜:在樣品固定后,需要將其制備成薄膜以便于SEM觀(guān)察。制備薄膜的方法有多種,例如剪切法、分散法、濺射法等。制備薄膜時(shí)需要控制薄膜厚度和均勻性,避免出現(xiàn)重疊、開(kāi)裂、變形等情況。
涂覆導(dǎo)電層:SEM需要在真空環(huán)境下進(jìn)行觀(guān)察,因此需要涂覆導(dǎo)電層以便于電子傳導(dǎo)。常用的導(dǎo)電層有碳膜、金屬膜等。涂覆導(dǎo)電層時(shí)應(yīng)注意導(dǎo)電層厚度和均勻性,以避免影響SEM觀(guān)察的精度和清晰度。
SEM參數(shù)設(shè)置:SEM參數(shù)設(shè)置對(duì)SEM觀(guān)察結(jié)果的影響很大。在設(shè)置SEM參數(shù)時(shí),需要根據(jù)樣品類(lèi)型、制備方法和分析需求等方面綜合考慮,調(diào)整電子束的加速電壓、聚焦、放大倍數(shù)、掃描速度等參數(shù),以獲得高清晰度、高對(duì)比度的SEM圖像。
制備SEM樣品需要掌握多種技術(shù)和操作方法,對(duì)樣品的選擇、處理、固定、制備、涂覆導(dǎo)電層和SEM參數(shù)設(shè)置等方面都需要注意細(xì)節(jié)和標(biāo)準(zhǔn)化操作,以保證SEM觀(guān)察結(jié)果的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性。
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作者:澤攸科技