SEM掃描電鏡SEM和TEM電子掃描電鏡都是常用的電子顯微鏡，但它們的工作原理、樣品制備要求和應(yīng)用領(lǐng)域有所不同。

SEM主要是利用電子束和樣品表面的相互作用，通過(guò)掃描探頭和樣品之間的距離來(lái)獲取樣品表面的形貌和顯微結(jié)構(gòu)，以及材料表面成分和結(jié)構(gòu)的信息。SEM具有高深度分辨率、大視野和強(qiáng)大的成分分析能力，因此在材料科學(xué)、生物學(xué)、地質(zhì)學(xué)、納米科學(xué)等領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。

TEM則是將電子束穿過(guò)樣品內(nèi)部的薄片，通過(guò)樣品中傳遞的電子與樣品中原子、分子的相互作用，來(lái)獲取樣品內(nèi)部的微觀結(jié)構(gòu)信息。TEM具有非常高的分辨率，可以解析出非常小的細(xì)節(jié)結(jié)構(gòu)，適用于材料科學(xué)、物理學(xué)、生物學(xué)等領(lǐng)域的研究。

相對(duì)于SEM，TEM對(duì)樣品制備的要求更高，需要制備出高質(zhì)量的薄片樣品，并且需要進(jìn)行高真空操作。同時(shí)，TEM在成分分析方面的能力比SEM差一些。

ZEM15臺(tái)式掃描電子顯微鏡

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