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掃描電鏡信號采集類型

日期:2023-04-25

掃描電鏡(Scanning Electron Microscope, SEM)的信號采集類型通常包括以下幾種:

二次電子(SE)信號:這是SEM中常用的信號類型。當電子束掃描到樣品表面時,樣品表面的物質(zhì)會發(fā)射出二次電子,這些電子經(jīng)由檢測器采集并轉(zhuǎn)換成圖像,用于觀察樣品的形貌和表面特征。

反射電子(BE)信號:當電子束掃描到樣品表面時,部分電子會被樣品表面的物質(zhì)反射回來,形成反射電子信號。反射電子信號主要用于觀察樣品的組成和晶體結(jié)構(gòu)。

散射電子(BSE)信號:當電子束與樣品相互作用時,一部分電子會被樣品內(nèi)部物質(zhì)散射出來,形成散射電子信號。散射電子信號主要用于觀察樣品的組成和晶體結(jié)構(gòu),具有較強的深度信息。

透射電子(TE)信號:在一些特定的SEM配置中,可以通過加入透射電子探測器,采集樣品內(nèi)部的透射電子信號,從而獲得樣品的透射電子顯微圖像,用于觀察樣品的內(nèi)部結(jié)構(gòu)和組成。

需要注意的是,不同類型的信號在SEM中的采集方式和檢測器配置可能會有所不同,具體的信號采集方式和檢測器配置會根據(jù)SEM設備的型號、廠商以及研究目的而有所差異。

ZEM15臺式掃描電子顯微鏡

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作者:澤攸科技


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