掃描電鏡能譜分析是一種表面分析技術(shù)，它結(jié)合了掃描電鏡成像和能譜分析技術(shù)，可以在微觀尺度下進行元素分析和化學組成分析。

掃描電鏡能譜儀的原理是基于樣品表面受到電子束轟擊后產(chǎn)生的各種信號，這些信號包括：二次電子、背散射電子、X射線和光子等。其中，常用的是X射線譜，因為它可以提供元素化學信息。

具體來說，掃描電鏡能譜儀通過在樣品表面掃描電子束，激發(fā)樣品表面產(chǎn)生X射線。這些X射線具有不同的能量，對應(yīng)不同的元素，通過檢測和分析這些X射線的能譜信息，可以確定樣品中元素的種類和含量。

掃描電鏡能譜儀的主要組成部分包括：掃描電子顯微鏡、能譜分析儀和計算機控制系統(tǒng)。掃描電子顯微鏡負責樣品表面的掃描和成像，能譜分析儀負責檢測和分析樣品表面產(chǎn)生的X射線能譜信息，計算機控制系統(tǒng)負責控制和整合兩者之間的數(shù)據(jù)。

掃描電鏡能譜儀是一種基于掃描電子顯微鏡和能譜分析技術(shù)的表面分析儀器，能夠提供高分辨率的元素化學信息，對于材料科學、化學、生物學等領(lǐng)域的研究具有重要的應(yīng)用價值。

ZEM15臺式掃描電鏡能譜一體機

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