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等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)CVD/PECVD應(yīng)用案例

日期:2022-11-07

CVD應(yīng)用——Graphene在任意襯底上的無催化生長(zhǎng)

CVD應(yīng)用——外延Graphene/BN異質(zhì)結(jié)與摩爾超晶格

CVD應(yīng)用——Graphene的各向異性刻蝕技術(shù)發(fā)展

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CVD應(yīng)用——MoS2的原位氧取代摻雜和相變調(diào)控

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CVD應(yīng)用——外延構(gòu)筑各種MoS2范德華異質(zhì)結(jié)

CVD應(yīng)用——二/四英寸連續(xù)單層MoS2 的取向外延生長(zhǎng)

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