PicoFemto掃描電鏡SEM納米力測(cè)量系統(tǒng)
日期：2022-05-20
PicoFemto SFP3 SEM納米力測(cè)量將納米壓痕儀集成進(jìn)掃描電鏡中，使用戶可以在掃描電鏡中進(jìn)行原位納米壓痕研究。該系統(tǒng)由一個(gè)三維壓電驅(qū)動(dòng)的樣品臺(tái)和一個(gè)納米力測(cè)量探針組成。樣品安裝方式靈活
多樣，可在三維納米位移臺(tái)的驅(qū)動(dòng)下，達(dá)到超過(guò)5 mm的準(zhǔn)確定位，定位分辨率優(yōu)于100 nm，以使待測(cè)量區(qū)域準(zhǔn)確對(duì)準(zhǔn)力探針。力探針同樣由壓電驅(qū)動(dòng)，在軸向達(dá)到100 um的伸縮長(zhǎng)度，位移分辨率優(yōu)于
0.25mm。由力傳感器準(zhǔn)確測(cè)量所施加的力的載荷，可測(cè)拉力和壓力。并有不同的最大量程的力傳感器可選配，達(dá)到很好的測(cè)量效果。通過(guò)搭配電學(xué)、
光學(xué)、加熱等模塊，該產(chǎn)品還可以實(shí)現(xiàn)包括原位力/熱耦合、力/光耦合、力/電耦合、力/熱/晶體取向耦合等多場(chǎng)耦合研究。
PicoFemto SFP3 SEM納米力測(cè)量系統(tǒng)基本技術(shù)參數(shù)表
特征 | 技術(shù)指標(biāo) |
兼容性 | 兼容賽默飛、日本電子、蔡司、日立、ZEM 等型號(hào)掃描電子顯微鏡 |
最大載荷 | ±10 ~±50 mN可選 |
載荷分辨率 | 優(yōu)于10 mN |
加載模式 | 拉伸、壓縮、彎曲、壓痕、劃痕等 |
納米壓痕模式 | 加載-保載-卸載，以及循環(huán)加載模式 |
軟件 | 自動(dòng)測(cè)量載荷-位移曲線，自動(dòng)保存； |
樣品位移反饋 | 閉環(huán) |
響應(yīng)時(shí)間 | 50ms |
加載位移精度 | 0.25 mm |
XYZ反饋 | 開(kāi)環(huán) |
XYZ粗調(diào)范圍 | 大于5 mm |
XYZ細(xì)調(diào)范圍 | 2.5 mm |
XYZ細(xì)調(diào)分辨率 | 0.6 nm |
XYZ位移操作模式 | 手柄操作(可改為軟件）。 |
電流測(cè)量量程 | ±1.5 A |
電流測(cè)量精度 | ±100 fA |
電壓測(cè)量量程 | ±200V |
電壓測(cè)量精度 | ±100 nV |
電學(xué)測(cè)量模式 | 自動(dòng)電流-電壓（I-V）測(cè)量、電流-時(shí)間（I-t） 測(cè)量，自動(dòng)保存。 |
加熱范圍 | 室溫至500 ℃ |
加熱穩(wěn)定性 | 優(yōu)于1 ℃ |
其他 | 可選光學(xué)模塊 |
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作者：澤攸科技