PicoFemto透射電鏡原位高溫力學(xué)測(cè)量系統(tǒng)
日期：2019-09-27
同時(shí)集成了力學(xué)測(cè)量模塊及MEMS芯片模塊，可以在對(duì)樣品1000 ℃加熱的同時(shí)進(jìn)行定量的力學(xué)測(cè)量。MEMS芯片模塊上可以選擇加熱芯片，也可以選擇電學(xué)測(cè)量芯片。力學(xué)測(cè)量模塊可以選擇不同載荷的傳感器，滿足不同實(shí)驗(yàn)需求。
該產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)了透射電鏡中真正意義上的高分辨定量原位高溫力學(xué)研究。
性能指標(biāo)
透射電鏡指標(biāo)：
● 兼容指定電鏡型號(hào)及極靴；
● 部分型號(hào)電鏡可選雙傾版本，雙傾電學(xué)測(cè)量樣品桿Y軸傾角±25°;（同時(shí)受限于極靴間距）；
力學(xué)傳感器指標(biāo)：
● 最大載荷100 mN（可選0.1 mN、1 mN、10 mN、100 mN）；
● 力測(cè)量實(shí)測(cè)噪聲優(yōu)于5nN（0.1 mN最大載荷時(shí)）；
● 力測(cè)量實(shí)測(cè)分辨率優(yōu)于5 nN（0.1 mN最大載荷時(shí)）；
● 自動(dòng)測(cè)量力-距離曲線，自動(dòng)保存。
加熱指標(biāo)：
● 溫度控制范圍：室溫至1000 ℃；
● 溫度準(zhǔn)確度：優(yōu)于5%；
● 溫度穩(wěn)定性：優(yōu)于±0.1 ℃。
掃描探針操縱指標(biāo)：
● 粗調(diào)范圍：X方向 1.5 mm，YZ 方向2 mm；
● 細(xì)調(diào)范圍：XY 方向20 um，Z 方向 10 um；
● 細(xì)調(diào)分辨率：XY 方向 0.4 nm，Z 方向 0.2 nm。
產(chǎn)品特色
（1）超大力學(xué)測(cè)量及溫度控制范圍；
（2）多場(chǎng)下的力學(xué)研究。
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作者：小攸